恭喜朗姆研究公司維納亞卡拉迪·古拉巴爾獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜朗姆研究公司申請的專利預防半導體襯底處理中基座上的沉積獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112534558B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-18發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980051139.X，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權預防半導體襯底處理中基座上的沉積是由維納亞卡拉迪·古拉巴爾;拉維·韋蘭基;蓋瑞·B·利德;邁克爾·拉莫;曼朱納斯·薩蒂亞德萬設計研發完成，并于2019-07-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本預防半導體襯底處理中基座上的沉積在說明書摘要公布了：一種用于在襯底處理系統中的襯底支撐件的隔熱結構包含外罩，其被構造成環繞所述襯底支撐件的桿。所述外罩還被構造成限定所述外罩與所述桿的上部和所述襯底支撐件的下表面之間的內部容積以及所述外罩與所述襯底支撐件的所述桿的下部之間的豎直通道。所述外罩包含：圓柱狀部；第一橫向部，其從所述圓柱狀部徑向向外延伸；斜角部，其從所述第一橫向部徑向向外且向上延伸；以及第二橫向部，其從所述斜角部徑向向外延伸。
本發明授權預防半導體襯底處理中基座上的沉積在權利要求書中公布了：1.一種用于在襯底處理系統中的襯底支撐件的隔熱結構，所述隔熱結構包含：外罩，其被構造成環繞所述襯底支撐件的桿，其中所述外罩還被構造成限定i所述外罩與所述襯底支撐件的所述桿之間的內部容積以及ii所述外罩與所述襯底支撐件的下表面之間的內部容積；至少一個隔熱板，其被構造成配置在所述襯底支撐件下方并且在介于所述外罩和所述襯底支撐件的所述下表面之間的所述內部容積中；內罩，其配置在所述外罩與所述桿之間，其中所述內罩從所述至少一個隔熱板向下延伸，并且限定所述內罩與所述桿之間的第二內部容積；以及邊緣防護件，其從所述外罩向上延伸，其中所述邊緣防護件被構造成i環繞所述襯底支撐件的外周緣，以及ii限定所述邊緣防護件以及所述襯底支撐件之間的間隙。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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