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龍圖騰網(wǎng)恭喜齊芯微(紹興)電子材料科技有限公司申請的專利一種化學(xué)機(jī)械拋光液及其制備方法和應(yīng)用獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119529678B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-18發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510096214.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C09G1/02；該發(fā)明授權(quán)一種化學(xué)機(jī)械拋光液及其制備方法和應(yīng)用是由周輝;周烈;羅愛清設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-01-22向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種化學(xué)機(jī)械拋光液及其制備方法和應(yīng)用在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種化學(xué)機(jī)械拋光液，包括腎上腺素類化合物，所述腎上腺素類化合物的分子結(jié)構(gòu)為：，其中R1為x，y?苯二酚或x，y，z?苯三酚，其中x，y，z為2?6的數(shù)字；R2和R3為氫原子、碳數(shù)為1?6的烷烴或碳數(shù)為1?6的醇；n為1?3的數(shù)字。本發(fā)明提供了一種化學(xué)機(jī)械拋光液及其制備方法和應(yīng)用，可以在提高拋光液對二氧化硅介質(zhì)層的拋光速率的同時，抑制氮化硅的拋光速率，并能避免或降低拋光過程中碟形凹槽、劃痕缺陷的產(chǎn)生。

本發(fā)明授權(quán)一種化學(xué)機(jī)械拋光液及其制備方法和應(yīng)用在權(quán)利要求書中公布了：1.一種化學(xué)機(jī)械拋光液，其特征在于，包括腎上腺素類化合物，還包括溶膠凝膠型氧化鈰研磨顆粒、有機(jī)高分子聚合物和有機(jī)多元酸，所述腎上腺素類化合物的分子結(jié)構(gòu)為：，其中R1為x，y-苯二酚或x，y，z-苯三酚，其中x，y，z為2-6的數(shù)字；R2和R3為氫原子、碳數(shù)為1-6的烷烴或碳數(shù)為1-6的醇；n為1-3的數(shù)字，所述腎上腺素類化合物質(zhì)量百分?jǐn)?shù)為0.05%-0.8%。

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