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龍圖騰網(wǎng)恭喜山東大學(xué)申請的專利單晶材料V形溝槽陣列的超精密復(fù)合加工方法及對準方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119566514B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-18發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510115120.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B23K26/00；該發(fā)明授權(quán)單晶材料V形溝槽陣列的超精密復(fù)合加工方法及對準方法是由姚鵬;王海仲;王慶偉;辛學(xué)瑞;周培法;王婷婷;劉祥;褚東凱;屈碩碩;黃傳真設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-01-24向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本單晶材料V形溝槽陣列的超精密復(fù)合加工方法及對準方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明屬于單晶材料極尖V形溝槽陣列加工領(lǐng)域，具體公開了一種單晶材料V形溝槽陣列的超精密復(fù)合加工方法及對準方法，在確定單晶材料的晶向后，采用飛秒激光沿著與所述晶向平行或和垂直的方向進行加工，在單晶材料表面形成微結(jié)構(gòu)陣列；將加工后的單晶材料在各向異性刻蝕液中進行濕法刻蝕；將中得到的單晶材料放置在分切加工系統(tǒng)的工裝臺上，利用分切加工系統(tǒng)的金剛石刀具對V形溝槽進一步加工，在加工時，將金剛石刀具的刀尖與溝槽底部對準之后進行分切加工。

本發(fā)明授權(quán)單晶材料V形溝槽陣列的超精密復(fù)合加工方法及對準方法在權(quán)利要求書中公布了：1.單晶材料V形溝槽陣列的超精密復(fù)合加工對準方法，其特征在于，如下：將已加工有V形溝槽陣列的單晶材料放置在工裝臺上；使光譜共焦位移傳感器的激光焦點移動至指定V形溝槽位置，通過光譜共焦位移傳感器獲取指定V形溝槽的槽底坐標；所述通過光譜共焦位移傳感器獲取指定V形溝槽的槽底坐標的方法如下：將光譜共焦位移傳感器的激光焦點移動至第一條V形溝槽和單晶材料頂面平面段交接邊緣位置，進行粗對準；使光譜共焦位移傳感器在單晶材料頂面沿理想V形溝槽截面形狀做插補運動，得到實際溝槽輪廓與光譜共焦位移傳感器移動軌跡的偏差圖像；根據(jù)偏差圖像對光譜共焦位移傳感器移動起點進行調(diào)整，使其與第一條V形溝槽和單晶材料頂面平面段交接邊緣對齊，進而獲得第一條V形溝槽槽底坐標；轉(zhuǎn)動刀具在單晶材料表面刻劃出一條V形溝槽，將光譜共焦位移傳感器移動到此V形溝槽底部處，得到刀具刀尖坐標，從而得到刀具刀尖與指定V形溝槽槽底相對坐標關(guān)系；根據(jù)相對坐標關(guān)系將刀具刀尖與指定V形溝槽槽底精確對準。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人山東大學(xué)，其通訊地址為：250000 山東省濟南市歷下區(qū)經(jīng)十路17923號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。