恭喜西北工業大學戴思清獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜西北工業大學申請的專利基于表面等離子體共振全息顯微術的金層厚度測量方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119554976B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-18發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510125824.X,技術領域涉及:G01B11/06;該發明授權基于表面等離子體共振全息顯微術的金層厚度測量方法是由戴思清;徐浩宇;王竹青;趙建林設計研發完成,并于2025-01-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本基于表面等離子體共振全息顯微術的金層厚度測量方法在說明書摘要公布了:本發明屬于光學測量技術領域,具體涉及一種基于表面等離子體共振全息顯微術的金層厚度測量方法,該方法基于發生表面等離子共振時反射光波的相位信息對金層厚度的微小變化具有超高響應靈敏度的特點,利用表面等離子體共振全息顯微系統測量電介質液滴揮發過程中反射光波的相位變化曲線并結合理論模型,實現對金層厚度的定量表征。該方法可為金層厚度測量提供一種高精度、無損、快速及低成本的測量手段和技術,最終實現金層厚度的無損、快速、高精度納米級精度測量。
本發明授權基于表面等離子體共振全息顯微術的金層厚度測量方法在權利要求書中公布了:1.一種基于表面等離子體共振全息顯微術的金層厚度測量方法,其特征在于包括如下步驟:步驟1:在棱鏡結構中,建立包含棱鏡-金層-電介質溶液層在內的表面等離子體共振模型,未滴取乙醇溶液樣品,利用表面等離子體共振全息顯微系統記錄一幅不包含樣品信息的背景全息圖;步驟2:在金層表面滴定一滴乙醇溶液,再利用表面等離子體共振全息顯微系統連續記錄包含乙醇溶液的樣品全息圖,直至乙醇溶液揮發至純水;步驟3:實驗曲線的測量:對圖像采集器件記錄的背景全息圖和樣品全息圖進行數值重建,處理得到去除了背景相位的乙醇溶液表面等離子體共振相位圖像,在乙醇溶液樣品區域中選取一矩形區域并對其取均值,得到相位值隨著乙醇溶液揮發的實驗曲線;基于該實驗曲線得到三個特征參量;步驟4:理論曲線的繪制:利用理論公式,計算得到表面等離子體共振模型中反射光波的反射相移差隨電介質折射率n3變化的理論曲線,所述反射相移差定義為當電介質層分別為乙醇溶液和空氣時對應的反射光波反射相移的差值;基于該理論曲線得到三個特征參量;步驟5:金層厚度的解調:利用表面等離子體共振全息顯微系統測得的實驗曲線和由表面等離子體共振模型計算得到的理論曲線的三個特征參量分別相等,在模型電介質溶液層的折射率已知而僅有金層厚度未知時,由特征參量解調金層厚度;其中特征參量分別為:乙醇滴液揮發初始時刻下的反射相移差值,溶液揮發至純水時刻下的反射相移差值,以及初始和最終時刻下反射相移差的變化范圍;所述步驟3的相位值與所述步驟4的反射相移差相等。
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