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龍圖騰網恭喜北京珂陽科技有限公司申請的專利基于大數據分析晶圓制造中缺陷的方法及系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119580022B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-18發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510143211.9，技術領域涉及：G06V10/764；該發明授權基于大數據分析晶圓制造中缺陷的方法及系統是由李清生;李樹盛;鄭麗華設計研發完成，并于2025-02-10向國家知識產權局提交的專利申請。

本基于大數據分析晶圓制造中缺陷的方法及系統在說明書摘要公布了：本發明提供基于大數據分析晶圓制造中缺陷的方法及系統，涉及大數據技術領域，包括采集工藝參數信息、缺陷掃描圖像、制造過程數據信息并經過多尺度特征金字塔網絡處理和融合后得到融合特征；對融合特征通過深度學習網絡進行分析，所述深度學習網絡采用多任務學習框架同時完成缺陷分類任務、缺陷分割任務、缺陷演化預測任務，并引入基于圖匹配的一致性損失，獲取缺陷類型識別結果及缺陷空間分布的特征圖譜；基于特征圖譜，當檢測到工藝參數異常時，利用包含時間序列注意力機制的圖神經網絡分析歷史缺陷數據；結合專家知識庫設定工藝參數約束條件，采用強化學習方法對工藝參數進行自適應調整。本發明提高了缺陷檢測和分類的準確性。

本發明授權基于大數據分析晶圓制造中缺陷的方法及系統在權利要求書中公布了：1.基于大數據分析晶圓制造中缺陷的方法，其特征在于，包括：采集晶圓制造的工藝參數信息，包括光刻工藝對準參數、光刻膠涂覆厚度參數、曝光能量參數、刻蝕氣體流量參數、射頻功率參數、偏壓電壓參數、薄膜沉積速率參數及腔室壓力參數；通過多個分布式缺陷檢測設備采集晶圓表面的缺陷掃描圖像；采集制造過程數據信息，包括工藝良率信息、晶圓電性測試信息及設備狀態信息；對缺陷掃描圖像利用包含可變形卷積模塊的多尺度特征金字塔網絡提取缺陷特征，將所述缺陷特征、工藝參數信息及制造過程數據信息進行融合得到融合特征；對融合特征通過深度學習網絡進行分析，所述深度學習網絡采用多任務學習框架同時完成缺陷分類任務、缺陷分割任務、缺陷演化預測任務，并引入基于圖匹配的一致性損失，建立不同批次缺陷樣本間的關聯，獲取缺陷類型識別結果及缺陷空間分布的特征圖譜；基于所述特征圖譜，利用包含因果推理模塊的異常監測網絡構建工藝參數變化與缺陷分布演化的因果圖，根據所述因果圖檢測工藝參數異常，當檢測到工藝參數異常時，利用包含時間序列注意力機制的圖神經網絡分析歷史缺陷數據，所述圖神經網絡通過動態圖結構捕獲缺陷分布的演化規律；并根據所述因果圖和演化規律，結合專家知識庫設定工藝參數約束條件，采用強化學習方法對工藝參數進行自適應調整。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京珂陽科技有限公司，其通訊地址為：100176 北京市通州區經濟技術開發區西環南路26號院30號樓(嘉捷科技園A座)6層-605；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。