恭喜三星電子株式會(huì)社李昌普獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜三星電子株式會(huì)社申請(qǐng)的專利半導(dǎo)體器件及制造該半導(dǎo)體器件的方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN113223971B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202011216450.6,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01L21/50;該發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體器件及制造該半導(dǎo)體器件的方法是由李昌普;孫瓘后;吳俊錫設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2020-11-04向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本半導(dǎo)體器件及制造該半導(dǎo)體器件的方法在說明書摘要公布了:公開了半導(dǎo)體器件及制造半導(dǎo)體器件的方法。所述方法包括:提供載體基板,所述載體基板包括導(dǎo)電層;將半導(dǎo)體裸片置于所述載體基板上;形成絕緣層以在所述載體基板上覆蓋所述半導(dǎo)體裸片;形成通孔以在所述半導(dǎo)體裸片的側(cè)方穿透所述絕緣層并暴露所述載體基板的所述導(dǎo)電層;執(zhí)行電鍍工藝以形成填充所述通孔的通路,在所述電鍍工藝中所述載體基板的所述導(dǎo)電層用作晶種;在和所述絕緣層的第一表面上形成第一再分布層;去除所述載體基板;以及在所述半導(dǎo)體裸片的第二表面和所述絕緣層上形成第二再分布層,所述第一表面和所述第二表面彼此相對(duì)。
本發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體器件及制造該半導(dǎo)體器件的方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種制造半導(dǎo)體器件的方法,所述方法包括:提供載體基板,所述載體基板包括導(dǎo)電層;將半導(dǎo)體裸片置于所述載體基板上;形成絕緣層以在所述載體基板上覆蓋所述半導(dǎo)體裸片;形成通孔以在所述半導(dǎo)體裸片的側(cè)方穿透所述絕緣層并暴露所述載體基板的所述導(dǎo)電層;形成覆蓋所述通孔的底表面和內(nèi)側(cè)表面的晶種層,其中,所述晶種層與所述載體基板的所述導(dǎo)電層接觸;執(zhí)行電鍍工藝以形成填充所述通孔的通路,在所述電鍍工藝中所述導(dǎo)電層和所述晶種層用作晶種;在所述絕緣層的第一表面上形成第一再分布層;去除所述載體基板;以及在所述半導(dǎo)體裸片和所述絕緣層的第二表面上形成第二再分布層,所述第一表面和所述第二表面彼此相對(duì)。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人三星電子株式會(huì)社,其通訊地址為:韓國京畿道;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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