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龍圖騰網恭喜商先創國際股份有限公司申請的專利等離子體產生器、等離子體處理設備及電力脈沖供應方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114709126B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-11發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210365643.0，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權等離子體產生器、等離子體處理設備及電力脈沖供應方法是由夕巴斯汀·哈柏特斯·舒茲;湯瑪斯·沛爾瑙;弗洛里安·那把爾;菲力克斯·華克設計研發完成，并于2018-03-29向國家知識產權局提交的專利申請。

本等離子體產生器、等離子體處理設備及電力脈沖供應方法在說明書摘要公布了：本發明涉及等離子體產生器、等離子體處理設備及電力脈沖供應方法。等離子體產生器包括：控制單元，配置為獲得及評估有關至少兩個制程室中的制程的制程數據；具有輸出的可控制的供電單元，配置為在其輸出上以響應控制單元的控制信號的方式輸出直流電；以及切換單元，具有用于各自與制程室中的一個連接的至少兩個切換單元輸出。切換單元配置為形成作為輸出信號的交流電，且以響應控制信號的方式，將輸出信號輸出至切換單元輸出中。控制單元配置為協調制程室的功率需求且驅動供電單元及切換單元，使得在各與制程室連接的切換單元輸出上將與功率需求對應的功率在一時間段作為脈沖提供，各制程室的脈沖在時間上相互錯開，使得制程室能夠同步工作。

本發明授權等離子體產生器、等離子體處理設備及電力脈沖供應方法在權利要求書中公布了：1.一種等離子體產生器，用于向至少兩個制程室脈沖供應具有至少40KHz頻率的電力，所述等離子體產生器包括：控制單元，其配置為獲得及評估有關所述至少兩個制程室中的制程的制程數據；具有輸出的可控制的供電，所述可控制的供電配置為在其輸出上以響應自所述控制單元的控制信號的方式輸出具有預定的電壓和或強度的直流電；以及切換單元，其具有第一輸入，所述第一輸入與所述供電的所述輸出連接，并且具有至少兩個切換單元輸出，用于各自與所述至少兩個制程室中的一個連接；其中所述切換單元配置為自所述第一輸入上的直流電形成具有預定的至少40KHz的頻率的交流電作為輸出信號，并且以響應所述控制單元的控制信號的方式，將所述輸出信號作為脈沖選擇性地在預定的脈沖持續時間內輸出至所述切換單元輸出中的一個；其中所述控制單元配置為協調所述至少兩個制程室的功率需求，并且驅動所述供電以及所述切換單元以使得在各與所述制程室連接的所述切換單元輸出上皆實質上將與所述功率需求對應的功率在一時間段內作為脈沖提供，其中各所述制程室的脈沖在時間上如此相互錯開，使得所述制程室能夠同步工作；且其中所述控制單元被配置為使得在所述功率需求會導致不同輸出上的脈沖重疊的情況下，將所述脈沖或其部分在時間上相對于所述功率需求偏移，其中對應的時間偏移經選擇以使得通過各輸出進行的能量輸出在所述時間范圍內對應于所述功率需求。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人商先創國際股份有限公司，其通訊地址為：德國布勞博伊倫福特伯格街31(郵遞區號:89143)；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。