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龍圖騰網恭喜ASML荷蘭有限公司申請的專利用于確定印刷圖案的隨機變化的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113454533B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080015882.2，技術領域涉及：G03F1/36；該發明授權用于確定印刷圖案的隨機變化的方法是由王長安;汪建江;梁蛟;王禎祥;馮牧設計研發完成，并于2020-01-30向國家知識產權局提交的專利申請。

本用于確定印刷圖案的隨機變化的方法在說明書摘要公布了：本文描述了一種用于確定襯底上的印刷圖案的測量數據的方法。方法涉及：獲得（i）襯底的原始圖像，包括與參考圖案相對應的印刷圖案，（ii）原始圖像的平均圖像，以及（iii）基于平均圖像的復合輪廓。進一步地，復合輪廓相對于參考圖案的參考輪廓對準，并且原始輪廓是基于對準的復合輪廓和復合輪廓的管芯到數據庫對準的輸出從原始圖像提取的。進一步地，方法基于原始輪廓確定多個圖案測量結果，并且基于多個圖案測量結果確定與印刷圖案相對應的測量數據。進一步地，方法確定多個過程變化，諸如隨機變化、管芯間變化、管芯內變化和總變化。

本發明授權用于確定印刷圖案的隨機變化的方法在權利要求書中公布了：1.一種用于確定襯底上的印刷圖案的測量數據的方法，所述方法包括：獲得（i）所述襯底的多個圖像，所述圖像中的每個圖像包括與參考圖案相對應的印刷圖案，（ii）所述多個圖像的平均圖像，以及（iii）基于所述平均圖像的印刷圖案的復合輪廓；經由處理器，將所述平均圖像的所述復合輪廓相對于所述參考圖案的參考輪廓對準；經由所述處理器，從所述多個圖像提取所述圖像內的所述印刷圖案的多個輪廓以保留所述多個圖像中的至少一些隨機變化，所述提取由所述對準的復合輪廓引導；經由所述處理器，基于所述多個輪廓來確定多個圖案測量結果，其中圖案測量結果是所述印刷圖案的特性；以及經由所述處理器，基于所述多個所述圖案測量結果來確定與所述印刷圖案相對應的所述測量數據。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人ASML荷蘭有限公司，其通訊地址為：荷蘭維德霍溫；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。