買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網恭喜歐瑞康表面解決方案股份公司,普費菲孔申請的專利等離子體源的用于執行等離子體處理的磁體裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113366601B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980091446.0，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權等離子體源的用于執行等離子體處理的磁體裝置是由J·維特爾設計研發完成，并于2019-12-05向國家知識產權局提交的專利申請。

本等離子體源的用于執行等離子體處理的磁體裝置在說明書摘要公布了：為了改善在襯底處的蝕刻深度和或蝕刻均勻性，提出了一種等離子體源，其具有一個或多個單獨的電極或者一個或多個磁體。磁體在電極附近產生磁場，該磁場可以在后側或者在前側。

本發明授權等離子體源的用于執行等離子體處理的磁體裝置在權利要求書中公布了：1.一種用于執行等離子體處理的真空室，所述真空室包括等離子體處理區以及等離子體源，所述等離子體處理區被室壁所包圍，所述等離子體源包括：至少一個布置在所述真空室100、200、300、400中的用于陰極真空電弧蒸發的陰極110、210、220、310、320、330、450和與所述真空室100、200、300、400連接的電弧陽極；能布置在所述陰極前面的屏蔽件115、230、332、333、334；至少一個布置在所述真空室100、200、300、400中的電極30、120、120a、130、140、240、250、340、350、360、460、470，其中所述電極固定在所述真空室的壁上或至少部分地布置在室壁中，其中所述電極30、120、120a、130、140、240、250、340、350、360、460、470包括用于捕捉由所述陰極110、210、220、310、320、330、450發射的電子的工作表面461，其特征在于，所述工作表面461是用于捕捉由所述陰極110、210、220、310、320、330、450發射的電子的二維表面，而且所述二維表面具有相對于表面法線的第一正交伸展和第二正交伸展，其中所述第一正交伸展垂直于第二正交伸展，并且所述第一正交伸展與所述第二正交伸展的長度比在0.1與1之間；而且至少一個用于產生磁場的磁體301、302、480、490布置在所述真空室100、200、300、400中、布置在所述真空室上或者布置在所述真空室中并且布置在所述真空室上，所述磁場作用于所述電極30、120、120a、130、140、240、250、340、350、360、460、470的工作表面461，其中所述磁體301、302、480、490包括前側磁體302和或后側磁體301、480、490，其中所述前側磁體302布置在所述工作表面461的區域內用于產生前側磁場并且所述后側磁體301、480、490布置在所述工作表面461后面用于產生后側磁場。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人歐瑞康表面解決方案股份公司,普費菲孔，其通訊地址為：瑞士普費菲孔；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。