恭喜三星SDI株式會社金容兌獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜三星SDI株式會社申請的專利薄膜沉積用組合物、薄膜制造方法、薄膜及半導體裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN112652519B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202011057384.2,技術領域涉及:H01L21/02;該發明授權薄膜沉積用組合物、薄膜制造方法、薄膜及半導體裝置是由金容兌;吳釜根;樸景鈴;成太根;任相均;林雪熙;田桓承設計研發完成,并于2020-09-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本薄膜沉積用組合物、薄膜制造方法、薄膜及半導體裝置在說明書摘要公布了:本發明公開一種用于沉積薄膜的組合物,包含含有鍶、鋇或其組合的有機金屬化合物和至少一個由化學式1表示的含非共用電子對的化合物;一種使用用于沉積薄膜的組合物制造薄膜的方法;以及一種由用于沉積薄膜的組合物制造的薄膜;以及一種包含薄膜的半導體裝置。在式1中,R1到R3的定義如本說明書中所描述。[化學式1]R1R2R3N
本發明授權薄膜沉積用組合物、薄膜制造方法、薄膜及半導體裝置在權利要求書中公布了:1.一種用于沉積薄膜的組合物,包括:有機金屬化合物,包含鍶、鋇或其組合;以及至少一個由化學式1表示的含非共用電子對的化合物:[化學式1]R1R2R3N其中,在化學式1中,R1到R3獨立地為經取代或未經取代的C3到C15烷基,其中所述用于沉積薄膜的組合物具有小于或等于500厘泊的粘度,所述粘度根據以下條件所測量:扭矩每分鐘轉速:20%到80%扭矩1轉分到100轉分樣品杯溫度:25℃。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人三星SDI株式會社,其通訊地址為:韓國京畿道龍仁市器興區貢稅路150-20號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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