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龍圖騰網恭喜清華大學申請的專利MEMS諧振器錨點阻尼的數值表征、抑制的結構及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113794459B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111096858.9，技術領域涉及：H03H9/02；該發明授權MEMS諧振器錨點阻尼的數值表征、抑制的結構及方法是由周斌;邢博文;馬健鈞;魏琦;張嶸設計研發完成，并于2021-09-18向國家知識產權局提交的專利申請。

本MEMS諧振器錨點阻尼的數值表征、抑制的結構及方法在說明書摘要公布了：本發明涉及一種MEMS諧振器錨點阻尼的數值表征、抑制的結構及方法，其包括：抑制區域，位于每個諧振質量塊的中心位置處，且多個所述抑制區域呈對稱分布；抑制結構，用于改變諧振參數抑制錨點耗散，設置在所述抑制區域內；理論不動點區域，以錨點為中心呈對稱分布在連接所述諧振質量塊用的支撐架上；檢測結構，用于對錨點耗散進行數值表征，實現對非對稱振動的檢測，設置在所述理論不動點區域內。本發明通過設計不對稱振動檢測結構和不對稱振動抑制結構，實現對于錨點耗散的實時測量表征與閉環抑制。本發明具有易于加工，不增加工藝復雜度，檢測精度高，閉環抑制效果好，有效降低錨點阻尼耗散的特點。

本發明授權MEMS諧振器錨點阻尼的數值表征、抑制的結構及方法在權利要求書中公布了：1.一種MEMS諧振器錨點阻尼的數值表征、抑制的結構，其特征在于，包括：抑制區域，位于每個諧振質量塊的中心位置處，且多個所述抑制區域呈對稱分布；抑制結構，用于改變諧振參數抑制錨點耗散，設置在所述抑制區域內；理論不動點區域，以錨點為中心呈對稱分布在連接所述諧振質量塊用的支撐架上；檢測結構，用于對錨點耗散進行數值表征，實現對非對稱振動的檢測，設置在所述理論不動點區域內；MEMS諧振器為以單錨定點四質量塊MEMS諧振式陀螺儀；每一所述抑制區域中的所述抑制結構，包括：第一抑制梳齒電極和第二抑制梳齒電極；所述第一抑制梳齒電極用于抑制驅動模態的非對稱振動，所述第二抑制梳齒電極用于抑制檢測模態的非對稱振動，所述第一抑制梳齒電極和所述第二抑制梳齒電極的結構形式相同，設置方向為正交；每一所述理論不動點區域中的所述檢測結構，包括：第一檢測梳齒電容和第二檢測梳齒電容；所述第一檢測梳齒電容和所述第二檢測梳齒電容檢測的敏感方向正交；所述第一檢測梳齒電容用于檢測所在理論不動區域中Y方向的非對稱振動；所述第二檢測梳齒電容用于檢測所在理論不動區域中X方向的非對稱振動。

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