恭喜北京晨晶電子有限公司吳黎明獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜北京晨晶電子有限公司申請的專利一種壓力傳感器敏感結構獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119290210B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-25發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202411808061.0,技術領域涉及:G01L1/10;該發明授權一種壓力傳感器敏感結構是由吳黎明;廖興才;韓雪飛;張夢婷;王春赟;田珂珂;劉慧芳;仵思笛;張兆琦設計研發完成,并于2024-12-10向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種壓力傳感器敏感結構在說明書摘要公布了:本申請涉及力測量技術領域,提供一種壓力傳感器敏感結構,包括感壓層、振梁層、應力隔離層和基底層,感壓層包括感壓膜;振梁層包括振梁基體和振梁結構,振梁基體連接于感壓膜,振梁結構連接于振梁基體;應力隔離層包括應力隔離環結構,應力隔離環結構連接于振梁基體背離感壓膜的一側,應力隔離環結構內部中空形成通孔,振梁基體蓋合于通孔第一端;基底層包括石英基底片,石英基底片連接于應力隔離層,石英基底片蓋合于通孔第二端。通過在基底層和振梁層之間設置應力隔離環結構可以隔離外部應力對振梁層的影響,保護振梁結構的穩定性和精度,能有效削弱來自封裝的裝配應力、熱應力和振動沖擊應力,提高整表零偏的穩定性。
本發明授權一種壓力傳感器敏感結構在權利要求書中公布了:1.一種壓力傳感器敏感結構,其特征在于,包括:感壓層(100),包括感壓膜(110);振梁層(200),包括振梁基體(210)和振梁結構(220),所述振梁基體(210)連接于所述感壓膜(110),所述振梁結構(220)連接于所述振梁基體(210);所述振梁結構(220)包括測壓振梁(221)、基準振梁(222)和匹配振梁(223),所述基準振梁(222)的錨區(226)固定連接于所述振梁基體(210);所述基準振梁(222)的第一激振電極(224)通過在振梁基體(210)上走線引出;所述匹配振梁(223)和所述基準振梁(222)關于所述測壓振梁(221)對稱設于所述振梁基體(210),所述匹配振梁(223)的錨區(226)固定連接于所述振梁基體(210);應力隔離層(300),包括應力隔離環結構(310),所述應力隔離環結構(310)連接于所述振梁基體(210)背離所述感壓膜(110)的一側,所述應力隔離環結構(310)內部中空形成通孔(311),所述振梁基體(210)蓋合于所述通孔(311)第一端;基底層(400),包括石英基底片(410),所述石英基底片(410)連接于所述應力隔離層(300),所述石英基底片(410)蓋合于所述通孔(311)第二端。
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