恭喜中國科學院物理研究所張忠山獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜中國科學院物理研究所申請的專利一種納米級的氣流傳感器及其制備方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111721965B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201910219865.X，技術領域涉及：G01P5/08；該發明授權一種納米級的氣流傳感器及其制備方法是由張忠山;李俊杰;顧長志;潘如豪設計研發完成，并于2019-03-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種納米級的氣流傳感器及其制備方法在說明書摘要公布了：本發明涉及一種納米級的氣流傳感器，包括：4×N個氣流傳感單元6，其中，N為大于或等于1的整數；所述氣流傳感單元6包括：支撐襯底2；承載部3，形成在所述支撐襯底2上；壓阻薄膜5，形成在所述承載部3上；電極4，形成在所述壓阻薄膜5上；所述承載部3、壓阻薄膜5和電極4一起形成懸空的部分；所述懸空的部分具有自由的三邊以及一個折邊；所述電極4垂直于所述懸空的部分的折邊平行地設置；所述氣流傳感單元6以等分圓周的方式對稱分布。本發明還涉及本發明的納米級的氣流傳感器的制備方法。本發明提供的納米級的氣流傳感器的高靈敏度；每個納米級的氣流傳感單元曲向不同，能分辨氣流方向。
本發明授權一種納米級的氣流傳感器及其制備方法在權利要求書中公布了：1.一種納米級的氣流傳感器1，包括：4×N個氣流傳感單元6，其中，N為大于或等于1的整數；所述氣流傳感單元6包括：支撐襯底2；承載部3，形成在所述支撐襯底2上；壓阻薄膜5，形成在所述承載部3上；電極4，形成在所述壓阻薄膜5上；所述承載部3、壓阻薄膜5和電極4一起形成懸空的部分；所述懸空的部分具有自由的三邊以及一個折邊；所述電極4垂直于所述懸空的部分的折邊平行地設置；所述氣流傳感單元6以等分圓周的方式對稱分布；兩個相對的納米級的氣流傳感單元構成一個軸向的納米級的氣流傳感器，兩個相互垂直的軸向納米級的氣流傳感器實現兩軸測量；4×N個納米級的氣流傳感單元結構上相互分離并且具有不耦合信號；所述懸空的部分的形狀為矩形。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國科學院物理研究所，其通訊地址為：100190 北京市海淀區中關村南三街8號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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