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龍圖騰網(wǎng)恭喜旭化成株式會社申請的專利感光性樹脂組合物和抗蝕圖案的形成方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN112368642B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-21發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：201980041666.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/031；該發(fā)明授權(quán)感光性樹脂組合物和抗蝕圖案的形成方法是由松田隆之;國松真一設(shè)計研發(fā)完成，并于2019-06-18向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本感光性樹脂組合物和抗蝕圖案的形成方法在說明書摘要公布了：提供一種適合于在曝光后進行加熱，實現(xiàn)更高分辨率的感光性樹脂組合物。一種感光性樹脂組合物，其是用于在曝光后進行加熱，然后進行顯影而得到樹脂固化物的感光性樹脂組合物，以感光性樹脂組合物的總固體成分質(zhì)量基準計，包含以下的成分：A堿溶性高分子：10質(zhì)量％～90質(zhì)量％；B具有烯屬不飽和雙鍵的化合物：5質(zhì)量％～70質(zhì)量％；以及C光聚合引發(fā)劑：0.01質(zhì)量％～20質(zhì)量％，A堿溶性高分子整體中的苯乙烯和或苯乙烯衍生物的結(jié)構(gòu)單元為15質(zhì)量％以上。

本發(fā)明授權(quán)感光性樹脂組合物和抗蝕圖案的形成方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種感光性樹脂組合物，其是用于在曝光后進行加熱，然后進行顯影而得到樹脂固化物的感光性樹脂組合物，其特征在于，所述感光性樹脂組合物以該感光性樹脂組合物的總固體成分質(zhì)量基準計，包含以下的成分：A堿溶性高分子：10質(zhì)量％～90質(zhì)量％；B具有烯屬不飽和雙鍵的化合物：5質(zhì)量％～70質(zhì)量％；以及C光聚合引發(fā)劑：0.01質(zhì)量％～20質(zhì)量％，所述A堿溶性高分子整體中的苯乙烯和或苯乙烯衍生物的結(jié)構(gòu)單元為15質(zhì)量％以上，并且，具有芳香族烴基的單體成分的含有比例為50質(zhì)量％以上，作為所述B具有烯屬不飽和雙鍵的化合物，雙酚A骨架的濃度為0.18mol100g以上的化合物B-1的含量相對于所述感光性樹脂組合物的固體成分為0以上且18質(zhì)量％以下，并且，包含相對于感光性樹脂組合物的固體成分總量為4質(zhì)量％以上且40質(zhì)量％以下的b1具有3個以上烯屬不飽和鍵的甲基丙烯酸酯化合物，[A堿溶性高分子的含量][B具有烯屬不飽和雙鍵的化合物的含量]的值為1.04以上，所述C光聚合引發(fā)劑包含蒽和或蒽衍生物。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人旭化成株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。