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恭喜恩智浦美國有限公司T·尤林獲國家專利權

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龍圖騰網恭喜恩智浦美國有限公司申請的專利具有嵌入跡線的基板獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN110797266B

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:201910711120.5,技術領域涉及:H01L21/48;該發明授權具有嵌入跡線的基板是由T·尤林;奇·森格·富恩格設計研發完成,并于2019-08-02向國家知識產權局提交的專利申請。

具有嵌入跡線的基板在說明書摘要公布了:本公開涉及具有嵌入跡線的基板。本文中提供一種具有一或多個嵌入跡線的基板和一種用于制造一或多個嵌入跡線的方法的實施例。所述方法包括:在基板的第一主表面上形成凸塊,所述凸塊具有從所述第一主表面到所述凸塊的頂部表面測量的高度;形成跡線,所述跡線包括與所述第一主表面直接接觸的下部跡線部分、與所述凸塊的至少一個側壁直接接觸的側壁跡線部分和與所述凸塊的所述頂部表面直接接觸的上部跡線部分;在所述跡線上方沉積毯狀介電層;和蝕刻掉所述毯狀介電層的頂部部分以暴露所述上部跡線部分的頂部表面。

本發明授權具有嵌入跡線的基板在權利要求書中公布了:1.一種用于制造一或多個嵌入跡線的方法,其特征在于,所述方法包括:在基板的第一主表面上形成凸塊,所述凸塊具有從所述第一主表面到所述凸塊的頂部表面測量的高度;形成跡線,所述跡線包括:與所述第一主表面直接接觸的下部跡線部分,與所述凸塊的至少一個側壁直接接觸的側壁跡線部分,和與所述凸塊的所述頂部表面直接接觸的上部跡線部分;在所述跡線上方沉積毯狀介電層;和蝕刻掉所述毯狀介電層的頂部部分以暴露所述上部跡線部分的頂部表面。

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