恭喜TOTO株式會社籾山大獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜TOTO株式會社申請的專利靜電吸盤獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111755376B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010227806.X，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權靜電吸盤是由籾山大;佐佐木均設計研發完成，并于2020-03-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本靜電吸盤在說明書摘要公布了：本發明提供一種靜電吸盤，在極低溫的環境下，能夠抑制發生陶瓷電介體基板從基座板的剝離及陶瓷電介體基板的裂開。一種靜電吸盤，具備：陶瓷電介體基板；金屬制的基座板，支撐所述陶瓷電介體基板；及接合層，設置在所述陶瓷電介體基板與所述基座板之間且含有樹脂材料，其特征為，滿足相關于接合層的伸長率、接合強度、彈性模量的第1～第6條件中至少任意一個。
本發明授權靜電吸盤在權利要求書中公布了：1.一種靜電吸盤，具備：陶瓷電介體基板；金屬制的基座板，支撐所述陶瓷電介體基板；及接合層，設置在所述陶瓷電介體基板與所述基座板之間，用于接合所述陶瓷電介體基板和所述基座板，且含有樹脂材料，所述樹脂材料為硅酮樹脂，所述靜電吸盤的特征為，滿足以下第1條件、第2條件和第3條件中的任意一個，第1條件：-60℃下的所述接合層的伸長率α1為120％以上且在25℃下所述伸長率α1對于所述接合層的伸長率α2的比α1α2為0.60以上；第2條件：-60℃下的所述接合層的接合強度β1為0.4MPa以上、10MPa以下且在25℃下所述接合強度β1對于所述接合層的接合強度β2的比β1β2為0.6以上、10以下；第3條件：-60℃下的所述接合層的彈性模量γ1為0.1MPa以上、10MPa以下且在25℃下所述彈性模量γ1對于所述接合層的彈性模量γ2的比γ1γ2為0.6以上、30以下。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人TOTO株式會社，其通訊地址為：日本福岡縣；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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