恭喜ASML荷蘭有限公司W(wǎng)·T·特爾獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜ASML荷蘭有限公司申請(qǐng)的專利用于確定視場設(shè)定的方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114514476B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-21發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202080070675.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/20；該發(fā)明授權(quán)用于確定視場設(shè)定的方法是由W·T·特爾;H·A·迪倫;科恩·蒂斯;洛朗·米歇爾·馬塞爾·德普雷;C·普倫蒂斯設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-09-03向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本用于確定視場設(shè)定的方法在說明書摘要公布了：本文中披露一種確定用于具有可配置的視場FOV的檢查工具的視場設(shè)定的方法，該方法包括：獲得襯底的至少一部分上的特征的工藝裕度分布；獲得閾值；依賴于所獲得的工藝裕度分布和閾值來識(shí)別襯底的至少一部分上的一個(gè)或更多個(gè)區(qū)；以及依賴于識(shí)別的所述一個(gè)或更多個(gè)區(qū)來確定視場設(shè)定。
本發(fā)明授權(quán)用于確定視場設(shè)定的方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種確定用于具有可配置的視場FOV的檢查工具的視場設(shè)定的方法，所述方法包括：獲得襯底的至少一部分上的特征的工藝裕度分布；獲得閾值；依賴于所獲得的工藝裕度分布和所述閾值來識(shí)別所述襯底的至少一部分上的一個(gè)或更多個(gè)區(qū)；以及依賴于識(shí)別的所述一個(gè)或更多個(gè)區(qū)來確定視場設(shè)定。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人ASML荷蘭有限公司，其通訊地址為：荷蘭維德霍溫；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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1、本報(bào)告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準(zhǔn)確性。
2、報(bào)告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報(bào)告當(dāng)日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔(dān)任何法律責(zé)任的依據(jù)或者憑證。
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