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恭喜三星顯示有限公司高晙赫獲國(guó)家專利權(quán)

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龍圖騰網(wǎng)恭喜三星顯示有限公司申請(qǐng)的專利靜電卡盤單元獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN110690156B

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-18發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:201910461585.X,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01L21/683;該發(fā)明授權(quán)靜電卡盤單元是由高晙赫;金義圭;宋珉澈;孔炳翼;文在晳;閔秀玹;李丞賑;洪承柱設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2019-05-30向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

靜電卡盤單元在說(shuō)明書摘要公布了:提供了靜電卡盤單元。靜電卡盤單元包括配置成產(chǎn)生相對(duì)弱的靜電力的第一布線部分和配置成產(chǎn)生相對(duì)強(qiáng)的靜電力的第二布線部分。

本發(fā)明授權(quán)靜電卡盤單元在權(quán)利要求書中公布了:1.靜電卡盤單元,包括∶靜電卡盤主體,包括第一布線部分和第二布線部分,所述第一布線部分和所述第二布線部分各自包括多條布線,所述多條布線配置成產(chǎn)生靜電力以通過(guò)所述靜電力在基板與掩模之間產(chǎn)生吸引力,其中,所述第一布線部分配置成產(chǎn)生比所述第二布線部分更弱的靜電力,其中,所述掩模包括單元格,所述單元格中分布有多個(gè)圖案孔,并且在所述單元格的端部部分中形成有臺(tái)階差部分,其中,所述第二布線部分定位成與所述臺(tái)階差部分對(duì)應(yīng)。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人三星顯示有限公司,其通訊地址為:韓國(guó)京畿道;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。

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