買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網恭喜蘇州盛拓半導體科技有限公司申請的專利一種微動平臺獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119589620B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-18發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510142157.6，技術領域涉及：B25H1/02；該發明授權一種微動平臺是由陳慶生;高建;宋明翰;馬文成設計研發完成，并于2025-02-10向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種微動平臺在說明書摘要公布了：本發明涉及半導體技術領域，具體涉及一種微動平臺，包括：承載平臺，承載平臺的上表面開設有貫穿孔和安裝槽，貫穿孔位于安裝槽的中心，承載平臺的下表面設有驅動自身升降的第一驅動機構；檢測平臺，位于承載平臺上，用于吸附放置在檢測平臺表面的晶圓；導向部，導向部包括固定部和至少一個彈性部，固定部位于貫穿孔內并固定在橫穿承載平臺下方的橫梁上，彈性部位于安裝槽內并圍繞固定部的周側設置，且一端與固定部連接，另一端固定在安裝槽內，當第一驅動機構驅動承載平臺升降時，彈性部繞其與固定部的連接位置發生彈性形變，以使承載平臺僅沿一個方向發生運動。

本發明授權一種微動平臺在權利要求書中公布了：1.一種微動平臺，其特征在于，包括：承載平臺（1），所述承載平臺（1）的上表面開設有貫穿孔（11）和安裝槽（12），所述貫穿孔（11）位于所述安裝槽（12）的中心，所述承載平臺（1）的下表面設有驅動自身升降的第一驅動機構（13）；檢測平臺（2），位于所述承載平臺（1）上，用于吸附放置在所述檢測平臺（2）表面的晶圓；導向部（3），所述導向部（3）包括固定部（31）和三個彈性部（32），所述固定部（31）位于所述貫穿孔（11）內并固定在橫穿所述承載平臺（1）下方的橫梁上，所述彈性部（32）位于所述安裝槽（12）內并圍繞所述固定部（31）的周側設置，且一端與所述固定部（31）連接，另一端固定在所述安裝槽（12）內，當所述第一驅動機構（13）驅動所述承載平臺（1）升降時，所述彈性部（32）繞其與所述固定部（31）的連接位置發生彈性形變，以使所述承載平臺（1）僅沿一個方向發生運動。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州盛拓半導體科技有限公司，其通訊地址為：215000 江蘇省蘇州市吳江區東太湖生態旅游度假區(太湖新城)五方路899號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。