恭喜應用材料公司卡提克·雷馬斯瓦米獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜應用材料公司申請的專利用于光學設備制造的電子束裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113196123B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980083749.8，技術領域涉及：G02B6/122；該發明授權用于光學設備制造的電子束裝置是由卡提克·雷馬斯瓦米;楊揚;曼尼瓦南·托塔德里;陳建安;盧多維克·戈代;羅格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森設計研發完成，并于2019-12-17向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于光學設備制造的電子束裝置在說明書摘要公布了：本公開內容的方面涉及用于制造波導的裝置。在一個實例中，利用成角度的離子源來朝向基板投射離子以形成包括成角度的光柵的波導。在另一個實例中，利用成角度的電子束源來朝向基板投射電子以形成包括成角度的光柵的波導。本公開內容的另外的方面提供了用于利用成角度的離子束源和成角度的電子束源來在波導上形成成角度的光柵的方法。
本發明授權用于光學設備制造的電子束裝置在權利要求書中公布了：1.一種電子束蝕刻裝置，包括：腔室主體，限定工藝容積；基座，設置在所述工藝容積中；第一電極，耦接到所述基座；蓋，耦接到所述腔室主體；和第二電極，耦接到所述蓋，所述第二電極包括分段表面，所述分段表面包括復數個成角度的表面，所述復數個成角度的表面相對于由所述第一電極限定的基準平面以非正交的定向設置，所述分段表面設置在耦接到所述蓋的所述第二電極上，所述第二電極被配置為以與所述復數個成角度的表面對應的所述非正交的定向發射電子束。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人應用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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