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龍圖騰網恭喜廣東科技學院申請的專利一種低壓化學氣相沉積爐進氣裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113151806B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110453739.8，技術領域涉及：C23C16/455；該發明授權一種低壓化學氣相沉積爐進氣裝置是由周繼承;呂博文設計研發完成，并于2021-04-26向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種低壓化學氣相沉積爐進氣裝置在說明書摘要公布了：本發明公開一種低壓化學氣相沉積爐進氣裝置，包括:爐體，所述爐體內設置有混氣機構和反應機構；所述混氣機構包括混氣管；所述反應機構包括隔離板；所述隔離板一側面與所述混氣管另一端端面固接；所述爐體內設置有外管；所述外管內設置有內管；所述內管與所述外管一端均與所述隔離板另一側面固接；所述內管與所述外管的另一端固接有后密封組件；所述外管內壁與所述內管外壁之間形成環形通道；所述隔離板側面繞所述隔離板中心周向陣列開設有若干連通孔；所述連通孔兩端分別連通所述環形通道和所述混氣管內腔；所述內管外壁沿軸線方向螺旋開設有若干通氣孔；若干所述通氣孔孔徑沿所述隔離板到所述后密封組件方向依次增大。

本發明授權一種低壓化學氣相沉積爐進氣裝置在權利要求書中公布了：1.一種低壓化學氣相沉積爐進氣裝置，其特征在于，包括:爐體1，所述爐體1內設置有混氣機構和反應機構；所述混氣機構包括混氣管2；所述混氣管2設置在所述爐體內一側；所述混氣管2的一端固接有前密封組件；所述反應機構包括隔離板3；所述隔離板3一側面與所述混氣管2另一端端面固接；所述爐體1內設置有外管4；所述外管4內設置有內管5；所述內管5與所述外管4一端均與所述隔離板3另一側面固接；所述內管5與所述外管4的另一端固接有后密封組件；所述外管4內壁與所述內管5外壁之間形成環形通道6；所述隔離板3側面繞所述隔離板3中心周向陣列開設有若干連通孔7；所述連通孔7兩端分別連通所述環形通道6和所述混氣管2內腔；所述內管5外壁沿軸線方向螺旋開設有若干通氣孔8；若干所述通氣孔8孔徑沿所述隔離板3到所述后密封組件方向依次增大；所述前密封組件包括第一環形隔板9；所述第一環形隔板9與所述爐體1一端端面固接；所述第一環形隔板9內壁與所述混氣管2外壁固接；所述混氣管2端面固接有固定法蘭10；所述固定法蘭10側面固接有前爐門11；所述前爐門11側面中心設置有螺旋進氣孔12；所述螺旋進氣孔12從所述爐體1外側到所述混氣管2內腔孔徑依次增大，所述螺旋進氣孔12孔壁上開設有若干螺旋槽，氣體先通過所述螺旋進氣孔12，所述螺旋進氣孔12能夠加強氣體的擾動，氣體能夠均勻的分布在所述混氣管2內；所述后密封組件包括內法蘭15；所述內法蘭15與所述內管5和所述外管4內壁固接；所述爐體1另一端固接有第二環形隔板16；所述第二環形隔板16內壁與所述外管4外壁固接；所述第二環形隔板16側面固接第二密封圈17；所述第二密封圈17側面固接有外法蘭18；所述外法蘭18一側與所述第二密封圈17側面和所述外管4另一端面固接；所述外法蘭18另一側固接有第三密封圈19；所述第三密封圈19側面固接有抽氣機構；所述連通孔7孔徑為0.8mm-1.2mm，抽氣管22管徑為12mm-14mm；所述內管5與所述外管4的長度均為2.5m-3.5m；所述內管5直徑為0.31m-0.33m；所述外管4直徑為0.3m-0.5m。

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