恭喜重慶康佳光電科技有限公司包林獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜重慶康佳光電科技有限公司申請的專利一種晶圓盒、核對晶圓的方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114038764B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202110983847.6,技術領域涉及:H01L21/67;該發明授權一種晶圓盒、核對晶圓的方法是由包林;向雪燕設計研發完成,并于2021-08-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓盒、核對晶圓的方法在說明書摘要公布了:本發明涉及一種晶圓盒、核對晶圓的方法,上述晶圓盒,增加了控制模塊與圖像采集模塊,通過圖像采集模塊來采集晶圓的晶圓識別號信息作為晶圓的核對信息;同時,通過控制模塊對采集的晶圓識別號信息進行處理,避免了人工肉眼識別晶圓的晶圓識別號信息,效率低下且容易出現錯誤的問題,提升了晶圓核對的效率。
本發明授權一種晶圓盒、核對晶圓的方法在權利要求書中公布了:1.一種晶圓盒,其特征在于,晶圓盒包括:晶圓盒盒體、控制模塊、圖像采集模塊;所述晶圓盒盒體上設置有多個用于容納晶圓的卡槽,所述晶圓的側邊上設置有晶圓識別號,所述圖像采集模塊的位置與所述晶圓設有所述晶圓識別號的一邊對應,所述控制模塊與所述圖像采集模塊連接;其中,所述圖像采集模塊用于對所述卡槽內的各個晶圓進行掃描,以采集各個所述晶圓對應的所述晶圓識別號信息作為各個所述晶圓的核對信息,并傳輸到所述控制模塊進行處理;其中,所述圖像采集模塊包括滑軌、設置于所述滑軌上的至少一個電荷耦合器、設置于所述滑軌兩側的至少兩個光源發射器,所述滑軌的滑動方向與所述卡槽的設置方向一致,所述光源發射器用于從兩側發射光線照射所述晶圓的晶圓識別號,以在所述電荷耦合器對所述晶圓的晶圓識別號進行掃描的過程中進行補光。
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