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龍圖騰網(wǎng)恭喜朗姆研究公司申請的專利包括具有經(jīng)冷卻的面板的噴頭的襯底處理室獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN112262464B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-01發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：201980039640.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)包括具有經(jīng)冷卻的面板的噴頭的襯底處理室是由達(dá)莫達(dá)爾·拉賈拉姆·尚巴格;納格拉杰·尚卡爾設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2019-06-06向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本包括具有經(jīng)冷卻的面板的噴頭的襯底處理室在說明書摘要公布了：一種用于襯底處理室的噴頭包含：內(nèi)壁；內(nèi)充氣腔，其位于所述內(nèi)壁之間；面板，其具有第一表面與第二表面，所述第二表面與所述第一表面相反；穿過所述面板的孔，其從所述第一表面延伸到所述第二表面；第一入口，其與所述內(nèi)充氣腔流體地連接；外壁；第一外充氣腔，其位于所述內(nèi)壁與所述外壁之間；第二外充氣腔，其位于所述內(nèi)壁與所述外壁之間；以及冷卻劑通道，其：使所述第一外充氣腔與所述第二外充氣腔流體地連接；設(shè)置在所述面板內(nèi)且在所述第一與第二表面之間；并且與所述孔流體地隔離。所述噴頭還包括：第二入口，其與所述第一外充氣腔流體地連接。

本發(fā)明授權(quán)包括具有經(jīng)冷卻的面板的噴頭的襯底處理室在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于襯底處理室的噴頭，所述噴頭包括：桿部分，其包括第一端和第二端，并且包含第一直徑；基座部分，其連接到所述桿部分的所述第二端，并且包含大于所述第一直徑的第二直徑；內(nèi)壁；在所述內(nèi)壁之間的內(nèi)充氣腔；所述基座部分包含面板，所述面板具有第一表面與第二表面，所述第二表面與所述第一表面相反；穿過所述面板的孔，其從所述第一表面延伸到所述第二表面；第一入口，其與所述內(nèi)充氣腔流體地連接；外壁；第一外充氣腔，其在所述桿部分和所述基座部分中并且由所述內(nèi)壁與所述外壁限定；第二外充氣腔，其在所述桿部分和所述基座部分中并且由所述內(nèi)壁與所述外壁限定；冷卻劑通道，其：使所述第一外充氣腔與所述第二外充氣腔流體地連接；設(shè)置在所述面板內(nèi)且在所述第一與第二表面之間；并且與所述孔流體地隔離，其中所述冷卻劑通道中的每一個包含多個豎直移位的冷卻劑通道；以及第二入口，其與所述第一外充氣腔流體地連接。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。