買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網恭喜蘇州漢天下電子有限公司申請的專利一種諧振器的制作方法及諧振器獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113872558B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111152610.X，技術領域涉及：H03H9/02；該發明授權一種諧振器的制作方法及諧振器是由王友良;楊清華設計研發完成，并于2021-09-29向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種諧振器的制作方法及諧振器在說明書摘要公布了：本發明實施例公開了一種諧振器的制作方法及諧振器。方法包括：基底的第一表面設置有第一凹槽；在基底的第一表面形成第一下電極；第一下電極包括開口，開口的深度等于第一下電極的厚度，開口在基底的垂直投影與第一凹槽不交疊；形成第二下電極，第二下電極的第一部分在基底的垂直投影與開口在基底的垂直投影重合；形成第二犧牲層，第二犧牲僅覆蓋第一部分，且第二犧牲層的厚度等于開口的深度；在第二犧牲層遠離基底的一側依次形成壓電層和上電極層；對第一犧牲層和第二犧牲層進行處理，形成位于第一部分和壓電層之間的空氣橋，以及位于基底和下電極之間的空腔。本發明實施例可以實現空氣橋的厚度可控，降低諧振器的制作工藝難度。

本發明授權一種諧振器的制作方法及諧振器在權利要求書中公布了：1.一種諧振器的制作方法，其特征在于，包括：提供一基底，所述基底的第一表面設置有第一凹槽，所述第一凹槽內填充有第一犧牲層；在所述基底的第一表面形成第一下電極；其中，所述第一下電極包括開口，沿所述第一下電極的厚度方向所述開口的深度等于所述第一下電極的厚度，所述開口在所述基底的垂直投影與所述第一凹槽不交疊；在所述第一下電極遠離所述基底的一側形成第二下電極，所述第二下電極包括第一部分，所述第一部分在基底的垂直投影與所述開口在所述基底的垂直投影重合；在所述第二下電極遠離所述基底的一側形成第二犧牲層，所述第二犧牲僅覆蓋所述第一部分，且第二犧牲層的厚度等于所述開口的深度；在所述第二犧牲層遠離所述基底的一側依次形成壓電層和上電極層，所述壓電層覆蓋所述第二下電極和所述第二犧牲層；對所述第一犧牲層和所述第二犧牲層進行處理，形成位于所述第一部分和所述壓電層之間的空氣橋，以及位于所述基底和所述第一下電極之間的空腔。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州漢天下電子有限公司，其通訊地址為：215000 江蘇省蘇州市蘇州工業園區金雞湖大道99號蘇州納米城東北區39幢；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。