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恭喜新陽硅密(上海)半導體技術有限公司史蒂文·賀·汪獲國家專利權

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龍圖騰網恭喜新陽硅密(上海)半導體技術有限公司申請的專利可調節屏蔽裝置以及利用其實現的電鍍屏蔽方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN110607543B

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:201911012547.2,技術領域涉及:C25D7/12;該發明授權可調節屏蔽裝置以及利用其實現的電鍍屏蔽方法是由史蒂文·賀·汪設計研發完成,并于2019-10-23向國家知識產權局提交的專利申請。

可調節屏蔽裝置以及利用其實現的電鍍屏蔽方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種可調節屏蔽裝置以及利用其實現的電鍍屏蔽方法,所述可調節屏蔽裝置包括:一屏蔽板,所述屏蔽板具有一鏤空的圓心部以及若干鏤空的圓弧部,所述圓弧部設置在所述圓心部的外圍;若干遮擋板,所述遮擋板分別與各所述圓弧部對應,且所述遮擋板相對于所述圓弧部移動從而調節對圓弧部的遮蓋面積。通過本發明的圓弧部的設置可以保證晶圓鍍層厚度的均勻性。并且通過遮擋板可以調節屏蔽板上鏤空部位相對于整個陰極工件的位置,從而具有廣泛的通用性。

本發明授權可調節屏蔽裝置以及利用其實現的電鍍屏蔽方法在權利要求書中公布了:1.一種可調節屏蔽裝置,其特征在于,所述可調節屏蔽裝置包括:一屏蔽板,所述屏蔽板具有一鏤空的圓心部以及若干鏤空的圓弧部,所述圓弧部設置在所述圓心部的外圍;若干遮擋板,所述遮擋板分別與各所述圓弧部對應,且所述遮擋板相對于所述圓弧部移動從而調節對圓弧部的遮蓋面積;若干調節機構,所述調節機構驅動各所述遮擋板相對于所述圓弧部移動,從而調節對圓弧部的遮蓋面積,所述遮擋板被限制為沿著所述圓弧部的徑向移動。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人新陽硅密(上海)半導體技術有限公司,其通訊地址為:201616 上海市松江區思賢路3600號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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