恭喜三菱電機株式會社山本達也獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜三菱電機株式會社申請的專利氣體激光放大器、氣體激光裝置、EUV光發生裝置及EUV曝光裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114667651B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980102111.4，技術領域涉及：H01S3/134；該發明授權氣體激光放大器、氣體激光裝置、EUV光發生裝置及EUV曝光裝置是由山本達也;西前順一;田所讓;成瀨正史;川島拓也設計研發完成，并于2019-11-11向國家知識產權局提交的專利申請。
本氣體激光放大器、氣體激光裝置、EUV光發生裝置及EUV曝光裝置在說明書摘要公布了：氣體激光放大器10A具有框體11、放電電極對20A、20B和光諧振器40。框體11具有：入射窗口12，其從外部被射入第1激光；以及出射窗口13，其將放大的第1激光射出。放電電極對20A、20B使供給至在框體11的內部相對而配置的放電電極21A、22A、21B、22B之間的激光氣體發生激勵。光諧振器40在第1激光沒有從框體11的外部從入射窗口12射入至框體11的內部的非入射狀態時，通過被激勵的激光氣體的增益使第2激光振蕩，在第1激光從入射窗口12射入至框體11的內部的入射狀態時，使第2激光的振蕩停止。
本發明授權氣體激光放大器、氣體激光裝置、EUV光發生裝置及EUV曝光裝置在權利要求書中公布了：1.一種氣體激光放大器，其特征在于，具有：框體，其具有從外部被射入第1激光的入射窗口、及將放大的所述第1激光射出的出射窗口；放電電極對，其使供給至在所述框體的內部相對而配置的放電電極之間的激光氣體發生激勵；以及光諧振器，其在所述第1激光沒有從所述框體的外部從所述入射窗口射入至所述框體的內部的非入射狀態時，通過被激勵的所述激光氣體的增益使第2激光振蕩，在所述第1激光從所述入射窗口射入至所述框體的內部的入射狀態時，使所述第2激光的振蕩停止。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人三菱電機株式會社，其通訊地址為：日本東京；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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