買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網恭喜弗薩姆材料美國有限責任公司申請的專利用于去除蝕刻殘留物的組合物及其使用方法和用途獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114450388B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080067656.9，技術領域涉及：C11D11/00；該發明授權用于去除蝕刻殘留物的組合物及其使用方法和用途是由孫來生;王莉莉;吳愛萍;李翊嘉;陳天牛設計研發完成，并于2020-09-24向國家知識產權局提交的專利申請。

本用于去除蝕刻殘留物的組合物及其使用方法和用途在說明書摘要公布了：一種用于微電子器件或半導體襯底的方法和清潔組合物，其包括至少一種烷醇胺；至少一種羥胺或羥胺衍生物或其混合物；至少一種具有至少兩個羧酸基團的多官能有機酸和水。該清潔組合物可進一步包括至少一種腐蝕抑制劑。

本發明授權用于去除蝕刻殘留物的組合物及其使用方法和用途在權利要求書中公布了：1.一種用于清潔微電子器件或半導體襯底的組合物，其包含：i約5至約88wt％的至少一種烷醇胺，其中所述至少一種烷醇胺具有以下結構： 其中R1、R2和R3各自獨立地選自：a氫，b1C1-C20直鏈烷基，b2C4-C20支鏈烷基，b3C3-C20環烷基；c未取代的C2-C20烷基醚基團；dC1-C20烷醇基團，e被-OH基團取代的C2-C20烷基醚基團；和其中R1、R2和R3中的至少一個必須是d或e；ii約5至約50wt％的至少一種羥胺或羥胺衍生物或其混合物，包含N-異丙基羥胺、N-甲基羥胺、二甲基羥胺、N-乙基羥胺、二乙基羥胺、N-丙基羥胺、二丙基羥胺和N-叔丁基羥胺、N,O-二甲基羥胺、O-甲基羥胺、O-乙基羥胺、O-丙基羥胺、硫酸羥胺、硝酸羥胺、鹽酸羥胺、鹽酸N-叔丁基羥胺、磷酸羥胺、乙酸羥胺、乙酸N-叔丁基羥胺、檸檬酸羥胺、羥胺、羥胺高氯酸鹽、鹽酸N-甲基羥胺中的一種或多種；iii約0.05至約20wt％的至少一種具有至少兩個羧酸基團的多官能有機酸，包含草酸、丙二酸、蘋果酸、酒石酸、琥珀酸、檸檬酸、乙二胺四乙酸EDTA、丁二胺四乙酸、1,2-環己二胺四乙酸CyDTA、二亞乙基三胺五乙酸DETPA、乙二胺四丙酸、羥乙基乙二胺三乙酸HEDTA、三亞乙基四胺六乙酸TTHA、1,3-二氨基-2-羥基丙烷-N,N,N',N'-四乙酸DHPTA、甲基亞氨基二乙酸、丙二胺四乙酸、次氮基三乙酸NTA和鄰苯二甲酸中的一種或多種；和iv約10至約30wt％的水；其中所述組合物具有約9或更大的pH，包含小于0.1wt.％的含氟化合物、銨鹽和水混溶性有機溶劑，以及其中術語“約”旨在對應于所述值的±5％。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人弗薩姆材料美國有限責任公司，其通訊地址為：美國亞利桑那州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。